Up Down
Previous Next

기술

모든 사파이어가 똑같이 만들어지지는 않습니다. Rubicon은 독점적 결정 성장 기술, ES2, 및 업계 최고의 대구경 사파이어 웨이퍼 분할 및 연마 능력으로 사파이어 공급업체로서 세계 선두의 위치를 차지합니다. Rubicon 사파이어의 품질과 순도는 타의 추종을 불허합니다. Rubicon의 독점적인 ES2 결정 성장 기술은 결정 성장 매개변수를 보다 뛰어나게 제어할 수 있어 응력이 감소된 환경에서 탁월한 품질의 사파이어를 생산할 수 있습니다. 당사의 최첨단 제조 시설에서는 정밀한 형상과 결정 방향 및 엄격한 허용 오차로 사파이어가 가공되며 다양한 고객 사양을 수용할 수 있도록 유연하게 공정이 처리됩니다. Rubicon은 결정 성장, 고정밀 코어 드릴링, 웨이퍼 절단, 표면 연마, 완전 평면 대구경 연마, 계측 및 웨이퍼 세척 공정의 기술 플랫폼을 갖춘 완전한 수직 통합적  사파이어 제조업체입니다. 더 나아가 당사는 점점 진화하는 고객의 사파이어 재료 요구 조건에 대비해 기술 플랫폼을 지속적으로 개발하고 있습니다.

원자재

Rubicon은 원자재 산화 알루미늄 분말 을 대형 사파이어 부울(boule)의 생산에 필요한 중간 결정 형태로 처리하는 기술을 개발했습니다. 고순도의 알루미나 분말이 특정 크기의 용광로에서든 최종 결정부울의 크기를 최대화하도록 설계된 다양한 크기의 알갱이로 소결, 압착 및 밀착됩니다. 재료의 품질 및 순도를 보다 뛰어나게 제어할 수 있고 타사에 대한 의존도를  줄여주는 이러한 업스트림 수직 통합 방식은 Rubicon을 타 업체로 부터 차별화시킵니다.

ES2 결정 성장

Rubicon은 Kyropoulos 방식에서 파생된 독점적인 ES2 결정 성장 기술 플랫폼을 통해 가장 높은 품질의 사파이어 결정을 생산합니다. 당사의 결정 기술 용광로 설계는 Rubicon만의 독자적 기술로 행해지며 당사의 용광로는 자체내에서 제조됩니다. 당사의 고도의 자동화 공정은 일관된 높은 품질과 결과를 제공하기 위해 결정 성장 전문가에 의해 면밀히 모니터링 됩니다. 

Rubicon의 사파이어 부울(boule)은 다른 결정 성장 방법들에 비해 열 구배(thermal gradient)가 낮고 응력이 낮은 환경에서 구속 받지 않은 체 성장합니다. 그 결과 다음과 같은 우수한 품질의 사파이어가 탄생됩니다. 

  • 업계에서 가장 낮은 에치핏 또는 전위, 밀도 (EPD)
  • 보다 높은 결정 순도 (99.996%) 
  • UV 범위에서 높은 투과성
  • 업계 최고의 완벽한 결정체 (x선 요동 곡선 방식)
  • 업계 최고의 굴절률 균일성
  • 크기를 확대하는 경우도 포함하여 경쟁 사파이어 제품과 비교하여 보다 뛰어난 균일성 
     

당사는 ES2 결정 성장 플랫폼을 활용하여 낮은 비용으로 고성능 대구경 사파이어의 생산을 급격히 증가시킬 수 있었습니다. 당사는 6인치 epi- 사파이어 웨이퍼의 대량 생산업체이며 현재 8인치 웨이퍼의 대량 생산이 충분히 가능합니다.  또한 12인치 웨이퍼의 시제품도 생산 하였습니다. 시장이 보다 더 대구경 웨이퍼를 통한 효율성을 지향함에 따라 우수한 품질의 사파이어 결정이 그 어느 때보다 더욱 중요해진 시점입니다. 

사파이어 제작

Rubicon은 사파이어 기판 및 광학용 창 제품의 공정 및 생산 에 있어 업계 최고의 역량을 자랑합니다. 당사의 최첨단 시설 에는 사파이어 제품의 코어 드릴링, 절단, 연마, 세척, 열처리 및 측정에 맞춤화된 대량 생산 장비가 마련되어 있습니다.  Rubicon은 C, R, A, M-면 사파이어 재료를 성장, 제조 및 가공합니다. 당사는 가장 엄격한 결정 방향 허용 오차의 1차 통과를 달성하여 제조 장비에 통합되는 원위치 x선 방향 유지관리 공정에서 특허를 받았습니다. 이는 당사의 혁신적인 제작 기술의 일례일 뿐입니다.  

사파이어 연마

Rubicon은 대구경 사파이어 웨이퍼의 세계적 선도업체로 부상했으며 현재는 6인치 및 8인치 epi-사파이어 웨이퍼. 를 생산합니다. LED, SoS RFIC 및 광학용 시장에서 점점 발전하는 고객 사양에 맞춰 낮은 곡선, 휨 및 TTV를 포함한 전면 및 국소 사이트 평탄도를 유지하며 정확한 방향의 응력 없는 아주 깨끗한 epi- 웨이퍼를 생산합니다.  기판 전체의 우수한 결정, 치수 균일성 및 웨이퍼 간 일관성 덕분에 고객의 에피택셜 성장 공정이 용이해지고 더욱 뛰어난 칩 수율을 가능하게 합니다. 

품질 관리

Rubicon은 품질에 대해서는 결코 타협하지 않으며 공정은 엄격하게 정해진 반도체 산업 제조 및 품질 관행을 준수합니다. 당사의 품질 관리 시스템은 ISO9001:2008, 을 준수하며 식스 시그마(Six Sigma) 및 지속적인 개선 방식을 채택하여 잘 특성화되고  안정적이고 유능한 공정으로 세계적 수준의 제조 인프라를 확립하고 유지합니다.

또한 원자재로 부터 시작해서 마감 처리된 제품에 이르기까지 세부적인 추적 관리 시스템을 사용하므로 각 공정 단계에서 수집한 데이터를 통해 엔지니어가 공정 신뢰성 및 생산성을 지속적으로 향상시킬 수 있습니다. 당사는 고도로 정교하고 독자적인 계측 방식 플랫폼을 사용하여 마감 처리된 제품의 방향, 곡선, 휨, 두께, TTV, 치수 준수 및 고객이 지정한 다른 특성을 제어합니다.

고객은 생산적이고 장기적인  관계의 확립을 위해서 당사의 품질 팀과 정기적인 소통을 기대할 수 있습니다.

고객 만족

Rubicon은 고객이 선호하는 사파이어 사업 파트너가 되고자 열심히 노력하고 있습니다. Rubicon 고객이 되시면 고객의 에피택셜 성장과 다운스트림 공정을 이해하는 기술 영업팀과 함께 작업하게 됩니다. 당사의 견적 처리는 고객의 요구사항에 알맞게 맞춤화되고 고객에게 필요한 모든 지원을 포함합니다. 또한 당사는 정확한 납기 준수와 훌륭한 고객 서비스를 약속 드립니다. Rubicon 사파이어의 품질과 순도는 고객이 공정 생산량을 향상시킬 수 있도록 도와주며, 수직 통합적 사업 모델은 당사가 업계에서 가장 신뢰받는 공급자가 될 수 있도록 도와줍니다. 고객의 요구사항이 발전하고 사파이어의 새로운 적용 분야가 부상함에 따라, 성공적인 혁신의 역사를 지니고 업계를 이끄는 선도적 위치에 있는 Rubicon은 두말 할 것 없이 고객의 가장 논리적인 선택입니다.

패턴 사파이어 기판

Rubicon Technology, Inc.은 대형 직경 사파이어 기판의 세계적인 선도업체로서 그 독보적인 전문성을 활용하여 4”에서 8”에 이르는 직경의 패턴 사파이어 기판(PSS) 전 제품 라인을 생산합니다. Rubicon은 Class 100 클린룸 및 고급 계측용 도구를 포함한 최첨단 시설과 장비를 갖추고 있습니다.

Rubicon은 ± 0.1 μm 이내의 엄격한 치수공차, 고정밀 패턴 치수 제어, 웨이퍼 간의 매우 높은 균일성을 통해 전면 맞춤화할 수 있는 서브 마이크론 패턴 기술력을 제공하며, 1mm의 작은 가장자리 제외 구역으로 웨이퍼당 칩 생산 수를 최대화할 수 있도록 더욱 많은 사용 영역을 제공합니다.

  

제품

Rubicon의 수직 통합된 최첨단 제조 시설은 당사의 검증된 ES2 결정 성장 기술,  높은 정밀도의 코어 드릴링, 웨이퍼 분할, 표면 연마, 대구경 연마 및 웨이퍼 세척 공정을 통해 업계의 표준척도를 세우고 있습니다. 그 결과, 우수한 품질과 예측가능한 균일성을 보유한 다량의 사파이어 잉곳, 윈도우(Window) 및 기판을 매우 폭넓은 직경으로 제공합니다(2, 3, 4인치 잉곳 및 6, 8, 12인치 웨이퍼 포함).  

모든 Rubicon 제품은 고객이 요구하는 사양에 정확히 일치하도록 정밀하게 설계되고 제조됩니다. Rubicon의 사파이어 제품은 LED(발광 소자), SoS RFIC(Silicon-on-Sapphire 무선 주파수 집적 회로) 및 군용 장비 및 시설, 센서, 의료기기, 반도체 및 기기 장치를 포함한 광학용 용도로 사용됩니다. 

패턴 사파이어 기판

Rubicon Technology, Inc.은 대형 직경 사파이어 기판의 세계적인 선도업체로서 그 독보적인 전문성을 활용하여 4”에서 8”에 이르는 직경의 패턴 사파이어 기판(PSS) 전 제품 라인을 생산합니다. Rubicon은 Class 100 클린룸 및 고급 계측용 도구를 포함한 최첨단 시설과 장비를 갖추고 있습니다.

Rubicon은 ± 0.1 μm 이내의 엄격한 치수공차, 고정밀 패턴 치수 제어, 웨이퍼 간의 매우 높은 균일성을 통해 전면 맞춤화할 수 있는 서브 마이크론 패턴 기술력을 제공하며, 1mm의 작은 가장자리 제외 구역으로 웨이퍼당 칩 생산 수를 최대화할 수 있도록 더욱 많은 사용 영역을 제공합니다.

  

광학용 창

 

제품스펙

광학용 창

 

재료

  • ES2 고순도 사파이어 (99.996%)

결정 품질 

  • 광학용 등급
  • 결정 입자 한계, 쌍정, 리니지 또는 균열 없음

투과성 

  • 업계 최고의 UV 등급 사파이어

방향 

  • C–면 (0001)
  • A–면 (11-20)
  • R–면 (10-12)
  • M–면 (10-10)
  • 일정하지 않음

모양 및 크기

  • 최대직경 12” (300mm)
  • 최대 250mm 면적의 정사각형/직사각형

로드 길이 

  • 최대 200mm

두께 

  • 최대 50mm +

표면 마감 처리 

  • 미세 연마
  • 단면 또는 양면 연마 처리

사용 가능한 옵션 

  • 모따기처리된 사면 
  • 반경 모서리, 맞춤형 모양 및 특징  

 

 


 

위에 나열되지 않은 맞춤형 사양도 제공 가능합니다.

 

방위 산업/항공 우주 분야 및 기기 장치에서 의료 장치 및 반도체 장비에 이르는 다양한 광학용 사용 분야에서, Rubicon의 ES2 결정 성장 및 제조 기술은 최대 직경 300mm 또는 12인치에 이르는 둥근 창을 포함한 높은 광학용 품질과 강도를 지닌 광범위한 종류의 사파이어 창을 제공합니다.  

제품스펙

대형 직사각형 창 제품에 관한 사항은 문의 바랍니다. 

문의사항

 

에피레디(Epi-ready) 연마 기판

 

제품스펙

EPI-Ready Polished Substrates

 

재료 

  • ES2 고순도 사파이어 (99.996%)

기포/색상 

  • 고강도 조명 아래 육안 검사를 통해서식별 되지 않음.

결정 입자 경계/리니지 

  • 리니지 극광 아래  육안 검사를 통해서는 식별되지 않음.

방향 

  • C–면 (0001)
  • A–면 (11-20)
  • R–면 (10-12)
  • M–면 (10-10)
  • 무방향성 결정

결정 방향 기울기 허용 오차 범위

  • 고객 선호 스펙
  • 최대 6” 기판:  ±0.05˚
  • 최대 8” 기판:   ±0.10˚

직경 

  • 최대 200mm

평탄도 (초점면 편차)

  • 최대 6” 기판:  ≤4.0 μm
  • 최대 8” 기판:  ≤6.0 μm

BOW

  • 최대 6” 0기판:  ± 15 μ
  • 최대 8” 0기판:  ± 20 μm

WARP

  • 최대 6” 기판:  ≤30 μ
  • 최대 8” 기판:  ≤40 μm

TTV

  • 최대 8” 기판:  ≤20 μm

두께 허용 오차 

  • 고객 선호 스펙
  • ± 25 um

업계 최고의 사이트 평탄도

  • 앞면 Ra ≤ 0.2 nm
  • 뒷면 Ra ≤ 1 μm

결정 방향 평면/새김눈 

  • SEMI/JEITA 표준

사면(Edge Bevel)

  •  업계 표준

청결성 

  • 얼룩이 전혀 없는 표면
  • 업계에서 가장 낮은 수준의 금속 및 유기 오염 물질

포장 

  • Class 100 환경에서 질소 채움 방식 진공 봉합 

사용 가능한 옵션

  • 앞면 및 뒷면 레이저 마킹
  • 광학용 연마 마감 처리
  • 단면 에피레디 마감 처리
  • 양면 에피레디 마감 처리

 


 

위에 나열되지 않은 맞춤형 사양도 제공 가능합니다.

 

Epi-용 사파이어 웨이퍼는 단면 또는 양면이 모두 마감 처리되고 웨이퍼 간의 균일성과 정확한 방향 및 오프셋을 제공하는 매우 평평하고 깨끗하며 응력 없는 연마된 기판입니다.  이러한 사파이어 웨이퍼는 최종 적용에서 고객이 원하는 특별한 사양을 맞추도록 맞춤 설계됩니다.  

제품스펙

잉곳

 

제품스펙

잉곳

 

재료

  • ES2 고순도 사파이어 (99.996%)

결정 품질 

  • 광학용  등급
  • 결정 입자 경계, 쌍정, 리니지 또는 균열 없음

투과성 

  • UV 등급, IR 등급

방향 

  • C–면 (0001)
  • A–면 (11-20)
  • R–면 (10-12)
  • M–면 (10-10)
  • 무방향성 결정

방위 기울기 범위 

  • 보편적 범위
  • 6인치까지 ±0.05⁰
  • 8인치까지 ±0.10⁰

직경

  • 최대 300mm

길이 

  • 최대 200mm

표면 마감 처리 

  • As Cored(코어 상태)
  • Fine Ground(연마된상태)

사용 가능한 옵션 

  • 1차 및 2차 결정 방향 평면
  • 정확한결정 방향 오프셋 
  • 결정 방향 새김눈

 

 


 

위에 나열되지 않은 맞춤형 사양도 제공 가능합니다.

 

사파이어 잉곳은 사파이어 기판의 제작을 위한 원재료로 사용됩니다. Rubicon은 UV 및 IR 등급을 포함한 광학용 사파이어 잉곳을 공급합니다. 표준 규격 및 축의뿐만 아니라, 요청 시 방향 오프셋 및 평방향을 제공할 수 있습니다. 잉곳은 마지막 공정에서 고객이 최대한 융통성 있게 적용할 수 있도록 표면을 “As Cored”(코어 상태) 혹은 “Fine Ground”(연마된 상태)로 제공됩니다.

제품스펙

시장

Rubicon의 수직 통합된 최첨단 제조 시설에서는 LED 산업과 고성능 무선 주파수 집적 회로(RFIC)용 Silicon on Sapphire(SoS) 웨이퍼 생산을 위해 6인치/8인치의 사파이어 웨이퍼를 생산합니다. 

LED는 텔레비전, 스마트폰 및 태블릿과 같은 소비자  가전기기, 자동차 및 다양한 산업 분야의 조명 장치에 널리 사용되며, 고체 소자 조명 (Solid State Lighting)이라고도 알려진 LED 전반 조명의 사용이 가속화되고 있습니다.  SoS RFIC는 스마트폰 외에 추가적으로 소비자가전기기 분야에 빠르게 채용되고 있습니다. 

방위 산업/항공 우주 및 기기 장치에서 의료 장치 및 반도체 장비 분야에 이르기까지, Rubicon의 사파이어 제품은 광학용의 다양한 형태 로 제공할 수 있는 능력을 입증 받아 세계적으로 안목 높은 제조업체들에게 선택 받는 공급업체로서 입지를 굳히고 있습니다.

 

 

 

 

Crown Fountain at Millenium Park—Chicago

사파이어는 거의 대다수의 청, 백, 녹색 및 UV LED를 생산하는 데 사용되는 탁월한 기판 재료입니다. 수요가 많은 다량의 소비자 가전 기기 및 전등, 대형 화면, 교통 신호등, HDTV, 태블릿, 넷북, 컴퓨터 모니터, 게임 시스템, 휴대폰 등과 같은 제품의 전반 조명 산업에서 LED의 수요가 대량으로 늘어나면서  LED 의 적용 분야는 괄목할 만한 성장을 거듭하고 있습니다.

환경 친화적이며 내구성 있고  에너지 효율적인 특성을 지닌 LED(발광 소자)는 조명의 미래입니다. 그리고 대구경 사파이어는 LED 제조의 미래입니다. 이 시장에서 대구경 사파이어의 이점은 분명합니다. 제조업체는 더 큰 기판에서 표면 영역을 보다 유용하게 사용함으로써 기판 가장자리 주변 영역의 손실을 줄이고 작업 효율성을 실현하여 더 많은 생산량을 달성할 수 있습니다. 모든 시장의 LED 제조업체는 업계의 지속적인 성장이 성능 향상 및 비용 감소 여하에 달려 있음을 인지하고 있습니다.

사파이어와 LED의 관계는 실리콘과 마이크로 프로세서의 업계와 비슷한 면도 있습니다. Rubicon은 LED용 사파이어의 시장에서 세계적으로 인정받는 선도업체이며, 다른 어떤 공급업체보다도 더 대구경 의 사파이어를 생산 및 제공합니다.  Rubicon은 독자적인 ES2 결정 성장 기술 및 전 제작 과정 및 제조 역량을 갖추고 고객의 요구에 정확하게 맞는 맞춤화된 제품을 제공할 수 있습니다. Rubicon은 LED 소자 생산용 사파이어 잉곳 및 사파이어 웨이퍼 제품을 제공합니다.

실리콘-온-사파이어

사파이어는 고성능 무선 주파수 집적 회로(RFIC)의 생산에 사용되는 실리콘-온-사파이어 웨이퍼 의 생산에서 기판으로 사용됩니다. 모바일 장치, 스마트폰 및 기타 전자기기는 효율성이 비교적 떨어지는 RFIC 기술과 비교하여,  SoS RFIC활용시,  에너지 소비 감소, 성능 향상 및 더 작은 형태 인자 등의 혜택을 얻습니다.

SoS RFIC는 대구경 R-plane 사파이어 기판에서 생산되고 비소 기반의  갈륨 비소(GaA) 웨이퍼의 보다 친환경적인 대안을 제공합니다. Rubicon Technology는 SoS RFIC 생산용으로 6인치/8인치의 사파이어 웨이퍼 를 제공하며, 필요에 따라 더 큰 사이즈로도 제공이 가능합니다.

광학용 시장

센서 및 감지기

사파이어의 UV 및 IR 투과성 특성과 유독한 화학물 및 높은 압력과 온도를 견딜 수 있는 내성은 석유 시추, 화학 처리 및 기타 산업 공정과 같은 수요가 높은 시장에서 쓰이는 화재 및 IR 감지기, 보호 창문 및 원격 측정기와 광학용 열전대 보호 덮개의 탁월한 재료로 사용됩니다.

감지 창

광택 처리된 창 또는 연마된 반가공품을 최대 300mm 직경까지 제공 가능. 다양한 모양과 크기로 제공 가능

광학용 막대  및 조명 파이프

최대 길이 300mm 및 최대 직경 50 mm 의 연마된 또는 광택 처리된 막대

반도체 공정 장비

불소 화학물 및 최대 2,000°C의 고온 공정 환경에 견디는 사파이어의 내구성과 저항성은 석영 및 다른 세라믹과 같은 다른 재료에 비해 이점을 제공합니다. 사파이어는 공정 챔버 환경에서 이러한 재료를 대신하여 사용되는 경우가 많습니다. 주요 제품:

챔버, 히터 및 마이크로웨이브 창: 최대 치수 250mm x 325mm 및 최대 직경 300mm의 다양한 형태 및 크기로 제공 가능

웨이퍼 리프트 핀: 고객 사양에 맞춰 형태를 만들고 연마된 막대기 형태

플라즈마 관: 엄격한 허용 오차로 마무리된 최대 ~2” OD 및 12+” 길이의 관

초점링(FOCUS RING) 및 챔버 라이너(CHAMBER LINER): 최대 직경 300mm 및 최대 두께 100mm까지 제공 가능

더미 웨이퍼(DUMMY WAFER) 및 웨이퍼 캐리어(WAFER CARRIER): 표면 연마 처리된 맞춤형 두께의 2”, 4”, 6”, 8” 웨이퍼 제공 가능 

계측 및 분석 공정

사파이어는 우수한 화학적 저항력, 고온 및 고압을 견딜 수 있는 내성, 그리고 UV 및 IR 투과성 특성을 지닌 탓에 질량 분석법, 분광 측광법, 소화 세포와 같은 분야 및 기타 다른 분석 분야의 적용에 이상적입니다. 사파이어는 장비 및 소모품의 수명을 향상시키기 위해 석영 및 유리를 대신하여 사용되는 경우가 많습니다. 주요 제품:

창문 및  창문 반가공품: 둥근 창문, 정사각형 및 직사각형의 창문을 UV 및 IR 등급의 고객 맞춤형 두께와 크기로 제공 가능

흡열판 (THERMOWELLS) 및 열전대(THERMOCOUPLE) 보호 덮개: 한쪽 또는 양쪽 끝이 덮여있거나 막혀 있는 소형 및 대형 사파이어 관. 최대 1” OD 및 12” 길이의 치수로 제공 가능

의료기기 및 레이저

사파이어는 광학적 투과 범위, 내구성, 인체 조직과의 불활성 및 날이 예리한 형태의 제품으로 가공될 수 있는 점으로 인해 피부병리학, 안과학 및 치과학의 특정 의료용 레이저에 사용될 수 있습니다. 또한 사파이어 제품은 수술용 도구, 임플란트, 치열 교정기와 내시경 및 레이저 창과 같은 의료 장비의 다양한 창문용에 사용됩니다. 다양한 연마된 창, 여러 형태의 부품 및 반가공품 제공 가능.

방위 산업 및 항공우주 분야

사파이어는 UV - IR 분광계에서의 광범위한 투과 범위, 모래 또는 산성 / 염기성 환경에서 긁힘 및 내부식, 내충격 특성으로 인해 방위 산업 및 항공우주 분야에서 사용됩니다. 주요 국방 및 항공우주 분야의 적용으로는 전투기, UAV 및 헬리콥터용 표적 추적 시스템 및 광학 보호장비, 항공기용 FLIR 및 시각 강화 장비, 육/해/공 운송 장비용 광학 센서 및 기자재, 미사일 돔, 대응책 램프 및 투명 장갑 장비 등이 포함됩니다. 

사파이어 주요 제품:

윈도우(Window) 및 윈도우 반가공품:  표적 시스템, FLIR, UAV, 센서 슈트, 광학 및 장갑차 창을 위한 용도. 최대 직경 치수 12" 의 원형 창,  최대 2" 이상 두께의 10" x 14" 직사각형 창

관 및 광학용 막대: 최대 직경 ~2" 및 최대 길이 12+"의 대응책 램프, 그리고 광 조명 파이프 및 센서용

당사의 LANCE 프로젝트는 방대한 영역의 고품질 사파이어의 새로운 장을 열어 줍니다.

사파이어는 물리적 특성으로 인해 고성능 광학적 용도에도 사용됩니다. 사파이어는 광학적 투과성, 물리적 강도, 마모 및 부식 저항력, 온도 내구성, 화학적 안정성, 및 생체 적합성을 제공합니다. Rubicon은 광학적 품질과 강도가 우수한 매우 큰 크기의  사파이어 창 및 공간 과 같은 여러 가지 모양과 제품을 생산할 수 있으므로 고성능 사파이어 부품을 활용하기 위해 고객이 사용할 수 있는 적용 범위가 확장됩니다.

사파이어의 주요 광학 시장 분야:

R&D

Rubicon은 새로운 기술 및 공정 개발에서 많은 업적을 달성하여 시장을 선도하고 신제품을 지속적으로 제공하고 있습니다. 당사의 재료 과학자, 결정 성장 전문가 및 숙련된 엔지니어들은 박사 학위 수준의 기술자가 많고, 고객의 요구를 충족하기 위하여 또, 혁신적인 제품 및 솔루션을 제공하기 위해 고객과 함께 긴밀히 협력하고 있습니다. 당사는 고객의 의뢰를 이해하고 최적의 맞춤형 솔루션을 개발할 수 있습니다.

당사는 혁신적인 결정 제품을 제공하고 고객의 생산량 및 처리량을 향상시키고자 대형 치수 사파이어 결정 성장 및 제조 공정 역량 향상에 지속적인 R&D 노력을 경주하고 있습니다. 뿐만 아니라 전 세계에서 가장 역량 있고 신뢰받는 사파이어 공급업체의 입지를 유지할 수 있도록 독창적인 제조 및 계측 공정을 개발하기 위한 전문 지식 응용에 힘쓰고 있습니다.

LANCE 프로젝트: 초대형 사파이어 창

사파이어의 물리적 특성

사파이어는 경도 및 강도, 가시적 적외선(IR) 분광계에서의 투명성, 열 전도성, 열충격 저항력, 마모 저항력, 높은 용융점 및 화학적 불활성으로 인해방위산업용 및 다른 고성능 응용에 바람직한 재료입니다. 그렇기 때문에 재료의 내구성이 광학적 투명성만큼 중요한 극한의 환경을 견뎌야 하는 IR 창에 적용하기에 매우 적합합니다. 

사파이어는 경도, 화학적 불활성 및 높은 작업 온도를 견디는 내구성으로 인해 반도체 웨이퍼 공정 장비의 구성요소로서 사용됩니다. 반도체 산업은 이제 450mm (18”) 웨이퍼를 사용하게 되었으나 이에 필요한 치수의 사파이어 제품이 없었기에 비교적 내구성이 떨어지는 다른 재료를 대체품으로 사용해왔습니다. Rubicon의 LANCE 사파이어가 상업적으로 출시되면 이러한 시장의 요구를 충족할 수 있을 것으로 기대합니다. 

방위산업용 센서 기술이 계속해서 발전함에 따라 이러한 센서를 필요로 하는 극한의 환경을 견뎌낼 수 있는 사파이어 창의 수요 또한 증가하게 되었습니다. Rubicon은방위산업용 센서를 위한 광학 용 사파이어의 두꺼운 초대형 창(14 x 20 x 1.5 인치)을 생산할 수 있는 완전히 새로운 사파이어 결정 성장 플랫폼을 개발했습니다. 

대면적의 사파이어 결정을 생산하는 이전의 성장 기술로는 엄격한 방위 산업에 적용하기 위해 요구되는 두께의 결정을 생성할 수 없습니다. Rubicon은 이제 2인치 두께의 패널을 생산할 수 있을 것으로 기대합니다. Rubicon은 미공군 연구 실험실, 제조 및 산업 기술 부서와의 계약을 통해, 공군의 현재 및 미래의 요건을 충족하기 위해 36 x 18 x 0.8 인치 크기의 창 생산을 위해 생산을 진행, 확장할 계획입니다. 

이 제품의 초기 적용 분야 중에는 가시적 IR 범위에서 탁월한 투과성을 유지할 수 있으며 온보드 영상 시스템을 보호할 수 있는 보호 창을 필요로 하는 초음파  항공 우주 시스템이 포함됩니다. 이외에도 대형 사파이어 창의 방위산업용도와 상업적 및 산업적 용도의 적용 분야 또한 상승할 것으로 여겨집니다. 

 

사파이어의 물리적 특성

초대형 사파이어 패널의 상업 적용 가능 분야는 반도체 장비 분야입니다.(자세히)

200kg 사파이어 부울(boule)

6인치 이상의 사파이어 웨이퍼는 어떤 것이 있습니까? Rubicon은 현재 8인치 웨이퍼를 생산할 수 있으며 이 200kg부울을 통해 12인치 사파이어 기판으로 진출하고 있습니다.

반도체 산업이 과거 1960년대에 2인치 실리콘 웨이퍼로 시작하여 오늘날 12인치(300mm) 웨이퍼로 확장되었듯이, LED 및 기타 전자 분야 용도의 사파이어 기판 산업도 비슷한 동향을 보이고 있습니다. 더욱 큰 웨이퍼 일수록 제조 공정 실행 당 생산량이 더 많아지며 경계 손실이 감소되고 마무리 가공 장비를 보다 효율적으로 이용할 수 있어 MOCVD  장비의 효율성이 크게 증가됩니다. 

 

 

 

순도 99.996%의 200kg 사파이어부울(사진 표제) >

원자재 공정

Rubicon은 원자재 산화 알루미늄 분말을 대형 사파이어부울의 생산에 필요한 중간 결정체 형태로 가공하는 기술을 개발했습니다. 고순도의 알루미나 분말이 어떤 크기의 용광로에서든 최종 결정부울의 크기를 최대화하도록 설계된 다양한 크기의 알갱이로 가공됩니다.  재료의 품질 및 순도를 보다 향상되게  제어할 수 있으며 타사에 대한 의존성을 줄여주는 이러한 업스트림 수직적 통합 방식은 Rubicon을 타 업체로 부터 차별화시킵니다.